資訊動態

晶圓廠硅片清洗刷筒

文字：[大][中][小] 手機頁面二維碼

2020/7/20 瀏覽次數：

一鍵分享

QQ客戶

刷洗器主要用于硅片拋光后的清洗，可有效地去除硅片正反兩面1μm以及更大的顆粒。主要配置包括專用刷洗器、優化的化學清洗液及超純水或者IPA。在水動力條件下，顆粒被旋轉的海綿狀刷子趕出

一個典型的POST—CMP清洗裝置包括兩個刷洗箱和一個兆聲波清洗模塊。早期使用的尼龍毛刷易造成硅片的損傷，現在一般采用聚乙烯醇(PVA)毛刷，PVA毛刷配合去離子水，